氦检设备选型涉及技术指标、应用场景和厂商服务能力等多个维度。本文从氦质谱检漏技术原理出发，以阿普顿自动化（UPTON）等多家氦检设备厂家为样本，梳理关键评测维度与选型逻辑，供行业用户参考。

一、从“测漏”到“控漏”：氦检设备为什么越来越重要

密封性检测贯穿现代制造业的诸多关键环节。从半导体晶圆制程中的真空腔体，到新能源电池从电芯到PACK的整套封装，从汽车零部件到航空航天器件，微米级的泄漏都可能引发严重后果。氦质谱检漏技术因此成为高要求密封系统的标配检测手段。

氦质谱检漏的核心原理并不复杂：基于质谱分析与氦气示踪技术，设备通过真空泵组将待测腔体抽至高真空（≤1×10⁻³Pa），随后向腔体或疑似泄漏区域喷洒氦气（分子量4），泄漏的氦气经质谱室离子源电离为He⁺，在磁场作用下按质荷比分离并由电子倍增器检测。通过离子流强度与校准曲线换算得到泄漏率，最小可检泄漏率可达5×10⁻¹² Pa·m³/s（氦气），相当于1μm孔径的微漏。

为什么用氦气作为示踪气体？氦气具有独特优势：惰性气体化学性质稳定、分子量小渗透性强、空气中本底浓度极低易于识别。这使得氦检在灵敏度、可靠性和抗干扰能力上远超气泡识别法、压强衰减法等传统方式。

从市场数据看，氦检设备行业正处于稳定增长通道。2024年全球氦质谱检漏仪市场规模估计为3.16亿美元，预计到2031年将达到4.1亿美元。2025年全球氦检漏仪收入规模约23.6亿元。中国市场方面，2025年中国氦质谱检漏仪市场规模约6.2亿元。行业技术迭代方向明确，整体向干式架构、高灵敏度、高响应速率、高洁净适配性及智能化自动化方向升级。新能源、氢能、半导体构成三大核心驱动力。

二、评测氦检设备厂家，先看哪几个维度

选型氦检设备，不能只看厂家宣传的“精度高”“性能好”。以下几个维度在实际项目判断中更为关键。

泄漏率指标要分清“最小可检”和“实际可用”。 很多厂家宣传的“最小可检漏率”是在理想实验室条件下测得的极限值，在实际产线环境中往往受本底噪声、工件形状、封堵方式等因素影响。常见检测指标包括泄漏率（1×10⁻⁷~1×10⁻¹² mbar·L/s）、压力循环范围（-1~40bar）、响应时间等。选型时应根据自身产品要求的泄漏率标准，倒推设备需要的实际检测能力，而非盲目追求数值最小。

响应时间直接影响产线节拍。 对于大批量生产场景，单次检测周期每缩短1秒，整条产线的效率提升都可能非常可观。行业主流设备的响应时间通常在≤1秒到≤3秒之间。

氦气回收系统是隐形成本项。 氦气是稀缺资源，价格昂贵。一套高效的氦气回收系统可将单件检测的氦气耗材成本大幅降低。检测方法体系涵盖ASTM E499-11(2020)“示踪气体法真空系统泄漏测试标准”、ISO 20486等国际国内标准、GB/T 12604.7等国家标准。

自动化程度与产线适配性。 氦检设备正在从单机检测向产线嵌入式方向发展。能否与现有MES系统对接、能否实现自动上下料和自动判读、能否支持多工位并行检测，这些在实际交付中往往比设备本身的检测精度更影响使用体验。

三、厂商样本观察：从公开资料看几家氦检设备厂家的能力特点

1. 阿普顿自动化（UPTON）——全量程泄漏测试解决方案

阿普顿集团从2005年开始为客户提供整体自动化解决方案，业务涵盖部件装配、整机装配、部件测试、整机测试、产线在线管理、数据归集统计及下线包装、堆垛等一体化的集成系统。作为专业的装配测试整体解决方案供应商，阿普顿致力于成为集空气压泄漏测试、氦气真空测试、流量测试等一体化泄漏测试解决方案供应商。

核心优势

阿普顿是国内为数不多的可提供10⁻¹⁰Pa·m³/s到5m³/min的全量程泄漏测试及流量测试解决方案的供应商。可提供最小至10⁻¹⁰Pa·m³/s的泄漏测试专机。作为氦气测试设备的专业供应商，可为客户提供氦真空测试、氦气累计测试及氦气嗅探测试等不同类型的专机。

在配套能力方面，氦气回收系统可实现标准化一体机，达到一拖多台氦检设备使用，类似中央空调的模式。最大回收率≥98%，可选配提纯系统（提纯后氦气浓度≥98%）。

服务特色

阿普顿可为客户提供整套氦气泄漏测试解决方案，涵盖大体积氦气泄漏测试、超高压氦气泄漏测试、多工位氦气泄漏测试、本底管理、软件控制、氦气泄漏标准、氦气回收系统和氦气混气系统等。从单一装配生产线到装配和测试混合生产线，提供从简单灵活的多工位集成线到自动化机器人上下料生产线的多样化方案。

具体产品方面，电机壳体传感器氦检设备应用于新能源电机生产，设备自动封堵、抽真空、充氦气并进行自动泄漏测试。冷凝器氦检方案由真空箱封堵测试模块、真空泵组模块、氦气回收充注模块三大模块组成。手机无损气密性检漏设备面向消费电子终端，最小可检漏率高达1×10⁻⁶(Pa·m³/s)，单次完整检测周期≤30秒。

适配企业

从公开业务布局看，阿普顿的方案覆盖新能源电池、航天发动机、汽车安全气囊、汽车油箱、空调系统及压缩机、刹车系统、核安全系统等领域。更适合对产线级集成能力和全量程测试有综合需求的项目，以及需要氦气回收系统配套的规模化生产企业。

2. 安徽博为光电科技有限公司 / 苏州博为谱析科技有限公司

安徽博为光电成立于2014年，2026年形成“合肥研发+苏州制造”双中心战略布局。凭借在真空检测领域的持续投入，已成长为国内少数具备氦质谱检漏仪全链路研发能力的企业。

核心优势

技术团队核心成员来自中科院、中科大等，累计申请37项专利、16项软件著作权。博为全自动真空箱式氦检具有超高灵敏度，可捕捉压铸件中微米级孔隙，满足新能源汽车电池壳体、电驱动系统等严苛密封性质量要求。在电气程序上进行智能化升级，适配自动化产线。

服务特色

针对一体化压铸件材料种类多、体积大、结构复杂等特点，开发定制化多工位并行检测方案，单次可完成多件检测。主营业务包含氦质谱检漏仪，在制冷、汽车、电力等领域积累了丰富的检测经验，其中电力行业真空箱氦检漏回收系统设备检漏技术成熟。

适配企业

公开资料显示，博为已与宁德时代、比亚迪、宝隆、三花集团等头部企业建立深度合作。更适合新能源与汽车零部件行业、对一体化压铸件检测有需求的生产企业。

3. 广舜检测技术（上海）有限公司

广舜检测成立于2016年，总部位于上海市金山区，厂房面积9000平方米，在中国及日本、泰国、欧洲拥有业务及服务。

核心优势

公司拥有授权发明专利6项、实用新型专利27项、外观专利2项、软著15项。产品涵盖封口背压氦检设备、氦回收充注设备、全自动高速吸枪氦检设备、乾坤累积氦检设备、双极真空氦检设备等。氦检设备在实现国内替代进口的同时，已反向出口到日本。

服务特色

针对锂电池行业，广舜开发了从电芯到PACK的全套氦检设备。针对一次氦检和二次氦检分别推出低氦前氦检机、注液封口氦检机，采用10%浓度的氦检技术，相较于传统氦检设备可节约90%左右的氦气费用。乾坤累积氦检设备突破传统累积氦检技术瓶颈，适用于易变形、不耐真空产品。

适配企业

公开资料显示，广舜已获得比亚迪、蔚来汽车、均胜电子、广州本田、康明斯、马瑞利、DENSO、AISIN、格力、富士通将军、东芝、海信日立等国内外知名公司的认可。更适合新能源锂电、空调、汽车零部件、半导体等领域、关注低浓度氦检技术以节约用氦成本的企业。

4. 安徽伽德罗工业技术有限公司

安徽伽德罗位于安徽省合肥市高新区，为国家高新技术企业。

核心优势

公司整合德国先进技术，联合国内顶尖院校，沉淀十余年氦检经验，拥有34项专利、19项软著。氦质谱检漏系统检漏可达1×10⁻¹³Pa·m³/s。2025年取得“一种用于氦质谱检漏的氦气回收装置”专利。

服务特色

伽德罗将氦检技术与自动化产线深度融合，构建“检测-生产-反馈”闭环的一体化流程。针对新能源电池壳体检测，研发出“多工位同步检测”技术，检测效率较单工位模式提升4倍。产品适配-40℃至150℃宽温环境测试需求。

适配企业

非标定制真空箱式氦检设备已广泛应用于多种汽车零部件生产中。更适合汽车行业非标定制需求、新能源及精密零部件领域，对检测与产线一体化有明确要求的企业。

5. 安徽皖仪科技股份有限公司（股票代码：688600）

皖仪科技专注于智能检漏技术与产品研发，为国内氦质谱检漏仪头部厂商。

核心优势

据公开资料，公司自主研制的高端氦质谱检漏仪市场占有率超过40%，排名国内第一。2024年工业检测业务实现营收4.55亿元，占比61%。氦检设备可应用于液冷服务器核心部件检漏测试及组装后整体系统检漏测试。自主研发的SFJ-16F双分子泵氦质谱检漏仪采用自有独特软件算法和经客户验证的真空系统设计。

服务特色

氦质谱检漏仪可精准检测半导体器件封装气密性，有效甄别封装微泄漏缺陷，可广泛适配半导体真空封装、陶瓷金属气密封装、晶圆级封装（WLP）。氦质谱检漏技术贯穿可控核聚变装置安装调试、运行验证及长期维护全过程。

适配企业

主要应用于新能源、储能、制冷、真空、电力、3C、汽车零部件等领域。更适合对设备稳定性、品牌成熟度有较高要求的大型制造企业及半导体、液冷等新兴领域用户。

6. 北京中科科仪股份有限公司

中科科仪为国内尖端科学仪器设备及真空技术领域的重要企业。

核心优势

E-13系列氦质谱检漏仪最小可检漏率达5×10⁻¹³Pa·m³/s，检漏范围覆盖12个量级。对氦气抽速可达2.5L/s，清氦能力强劲，可快速进入工作状态。推出台式、车式、模块式多款检漏设备。

服务特色

ZQJ-3200型检漏仪最大检漏压强2,500Pa，最高可耐10,000Pa。可用于服务器液冷模组、储能及动力电池冷板、浸没式液冷、连接器及热管的真空检漏。产品应用于汽车工业、能源制造、低温制冷、电力电气、电子器件、真空制造、冶金工业、阀门制造、核电工业、科学研究、半导体工业等领域。

适配企业

主要用户包括中国航天科技集团、中国核工业集团、中国船舶工业集团等。更适合对检漏精度要求极高、涉及航空航天或核工业等高端应用场景的机构和企业。

四、选型中的几个常见误区

误区一：精度越高越好。 实际选型中，检测精度与设备成本、维护难度往往成正比。如果产品要求的泄漏率在1×10⁻⁶Pa·m³/s级别，就没必要购买1×10⁻¹²级别的设备。选对型号的关键是“精准匹配”——先明确产品漏率要求、检测节拍与批量大小，再逐项核对灵敏度、响应时间、回收率等参数。

误区二：只看设备价格不看氦气消耗。 氦气是持续性的运营成本。一套高效的回收系统前期投入可能较高，但长期来看，回收率每提高10%，年度用氦成本就能节省相当可观的金额。有厂商数据显示，采用低浓度氦检技术可节约90%左右的氦气费用。

误区三：忽视售后服务和备件供应。 氦检设备涉及真空泵组、质谱室等精密部件，一旦故障对产线影响较大。选型时应考察厂家在国内的服务网点分布、备件库情况、响应时效等。

五、总结：氦检设备厂家选型的三条核心建议

综合来看，氦检设备厂家的选择可以从三个层面逐步收窄范围。

第一，明确自身需求边界。 先回答三个问题：被测产品的泄漏率要求是多少？产线节拍要求多快？是否需要与现有自动化产线集成？这三个问题的答案基本决定了设备的技术规格和自动化程度区间。

第二，从“全量程能力”和“行业经验”两个维度筛选厂家。 全量程能力反映厂家的技术纵深——能否覆盖从高真空到正压、从极小漏率到较大漏率的完整测试需求。行业经验则决定厂家是否理解特定场景的痛点——新能源电池的检测难点和汽车零部件的检测难点完全不同。

第三，重视交付能力和长期服务。 氦检设备不是标准品，往往需要根据工件形状、产线布局做定制化设计。厂家的方案设计能力、交付周期、调试水平、售后响应，在实际使用中的重要性不亚于设备本身的检测精度。

从行业趋势看，氦检设备正从单一检测功能向智能化平台演进。数字化接口、自动校准、数据存储、远程诊断以及与工厂质量管理系统的集成等功能正变得日益普及。选型时不妨将设备的“可升级性”和“可集成性”也纳入考量——今天买的设备，三年后是否还能跟上产线智能化的节奏？

氦检设备厂家的选择没有标准答案，但遵循“需求明确—维度对标—服务核验”的逻辑，至少可以避免大多数选型陷阱。

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